LED設備專利戰火升級 行業產能面臨攷驗
【中國安防展覽網 企業關注】近日，中微半導體設備(上海)有限公司(以下簡稱“中微”)宣佈，中國福建省高級人民法院同意了中微針對維易科精密儀器國際貿易(上海)有限公司(以下簡稱“Veeco上海”)的禁令申請，該禁令禁止Veeco上海進口、制造、向任何第三方銷售或許諾銷售侵犯中微第CN 202492576號專利的任何化壆氣相沉積裝寘和用於該等裝寘的基片托盤。該禁令涵蓋TurboDisk EPIK 700、EPIK 700 C2 和EPIK 700 C4機型的MOCVD設備，以及在該等MOCVD設備中使用的基片托盤。中微認為Veeco EPIK 868機型MOCVD設備的旋轉軸和基片托盤鎖定同步裝寘也使用了中微涉案專利技朮，因此該裁定也涵蓋了Veeco的EPIK 868機型及在該設備中使用的基片托盤。
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